Продуктова категория
Свържете се с нас

Haohai Метални Метериали Ко ООД

Haohai Titanium Ко ООД


Адрес:

Завод № 19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang Сити, Shaanxi Pro., 712000, Китай


Тел:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


факс:

+86 29 3315 9049


Електронна поща:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



Телефонна линия
029 3358 2330

Новини

Начало > НовиниСъдържание

Изисквания за ефективността на ключовите изисквания за силициевото разпръскване

Какви са основните изисквания за производителност за целите на силициевото разпрашване?

Силиконова пулверизираща цел чистота

Чистотата е един от основните показатели за изпълнение на целите на силициевото разпрашване, тъй като чистотата на разпръскващата мишена има голям ефект върху свойствата на филма. При практическите приложения, обаче, изискванията за чистота на целите за силициево разпрашване не са еднакви. Например, с бързото развитие на микроелектрониката, размерът на вафлите от 6 ", 8" до 12 "и ширината на кабелите от 0.5um намалява до 0.25um, 0.18um или дори 0.13um, преди 99.995% от силициевото разпрашване Чистотата на целта може да отговаря на изискванията на 0.35umIC процеса, а приготвянето на 0.18um линия за чистотата на целта за силициев разпрашване изисква 99.999% или дори 99.9999%.

Цел от силициево разпрашване Съдържание на примеси

Силициево разпрашване Онечистванията в целевите твърди вещества и кислородът и влагата в порите са основният източник на замърсяване за депозирания филм. Изискванията за различно съдържание на примеси на целите силициево разпрашване за различни цели също са различни. Например, индустрията на полупроводниците за целта за пулверизиране на чист алуминий и алуминиева сплав, съдържанието на алкали и съдържанието на радиоактивни елементи има специални изисквания.

Силиконова пулверизирана целева плътност

За да се намали порьозността на твърдите вещества, предназначени за разпръскване на силиций, и да се подобри ефективността на разпрашения филм, обикновено е желателно целта за силициев разпрашване да има по-висока плътност. Плътността на целта за разпрашаване не само влияе върху скоростта на разпрашване, но също така влияе върху електрическите и оптичните свойства на филма. Колкото по-висока е плътността на целта за разпръскване на силиций, толкова по-добра е ефективността на филма. В допълнение, увеличаването на плътността и якостта на целта от силициево разпрашване позволява на целта за силициев разпрашване да издържа по-добре термичния стрес по време на разпрашването. Плътността също е един от ключовите показатели за изпълнение на целите за силициево разпрашване.

Цели на силициевото разпрашване Размер на зърното и разпределение на размера на зърното

Обикновено целта за разпрашаване е поликристална структура с размер на зърната от порядъка на микрони до милиметри. За същия тип силициево разпрашващо прицел, скоростта на разпрашване на целта за фин силициев разпрашване е по-бърза от тази на целта за груб силициев разпрашване. Скоростта на разпрашване е малка (равномерно разпределение). Разпределението на дебелината на нанесения филм е по-равномерно.

Свързани новини